Cryopumps נעשים על פי העיקרון של עיבוי גז, ספיחה קריוגנית, לכידה קריוגנית או יניקה כדי לקבל ואקום.
1. על פי לחץ העבודה של המשאבה, ניתן לחלק אותה ל- cryopump עבור טווח זרימה רציף, cryopump עבור טווח זרימה מולקולרית, בדרך כלל משאבת עיבוי בתוספת שלב ספיחה או שלב לכידה קריוגני.
2. על פי שיטת הקירור, ניתן לחלק אותו למיכל אחסון cryopump, cryopump אידוי ו- cryopump קירור. ביניהם, מיכל האחסון cryopump ואת cryopump אידוי שניהם להשתמש קירור נוזלי לקירור, משטח מגן הקירור הוא נפוץ חנקן נוזלי, ואת המשטח cryogenic הוא נפוץ הליום נוזלי או הליום גז לקירור. בשל דליקות, נפיצות ומחיר גבוה של מימן נוזלי, הוא עדיין משמש לעתים רחוקות למרות אנתלפיית האידוי הגבוהה יותר שלו מאשר הליום נוזלי.
מקררי cryopump בקירור נמצאים בשימוש נפוץ על ידי גיפורד. סוג מקמהון (המכונה מקרר G.M) וסוג סטירלינג (המכונה מקרר St). עבור קריאופומפים של קירור עם מהירות שאיבה גדולה, ניתן להשתמש במקרר ברמת טמפרטורת הליום נוזלית, וניתן להגדיר שסתום J-T ליצירת התקן קירור של זרימת נוזלים, ולעיתים נעשה שימוש בחנקן נוזלי במיכל אחסון נוזלי או במכונת הנזלת חנקן לקירור משטח ההבל וההגנה.
ההופעה העיקרית של cryopump
(1)גבוה יותר ממהירות השאיבה, טוב יותר מכל סוגי המשאבות האחרים.
(2)אין מגבלות על הצורה, היא יכולה להיות שקועה בתא הוואקום או קבועה על דופן תא הוואקום עם אוגן.
(3)הוא יכול לספק ואקום נקי לחלוטין ללא זיהום למערכת הוואקום.
(4)ניתן לקבל דרגת ואקום של לחץ נמוך במיוחד, כגון מתחת ל-10-12Pa. יתר על כן, פעולת ה- cryopump היא אמינה, וכאשר מהירות השאיבה גדולה יחסית, עלות התפעול של השקעתה נמוכה מזו של משאבת הוואקום המסורתית, וקל לממש אוטומציה.